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討論串[問題] ANSYS有辦法把內應力拿掉嗎?
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我想請問一下一個微機電樑的模擬問題. 因為半導體製程因素,所以整個結構在釋放時內部殘留應力會作用. 整個樑會往上翹曲變形 (如下圖 圖片版權屬於原作者). http://img522.imageshack.us/img522/7397/stressfa2.jpg. 最後會變成像最左邊下面的那樣彎曲,
(還有76個字)
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