[問題] ANSYS薄膜應力模擬
最近遇到一個薄膜應力模擬上的問題
結構很簡單:
在 substrate 上有一層金屬薄膜,當此金屬薄膜晶格常數膨脹百分之十後
整體結構的 stress 分布。
(或是薄膜體積膨脹百分之十後整體結構的 stress 分布)
ANSYS有辦法做到這樣的模擬嗎?
拜託各位高手了,感謝~~~~
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